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科晶500W直流等離子磁控濺射鍍膜儀

簡要描述:

科晶500W直流等離子磁控濺射鍍膜儀
型號:VTC-2DC2英寸
產(chǎn)品概述:
VTC-2DC是一款小型的直流(DC)等離子體磁控濺射鍍膜儀系統(tǒng),系統(tǒng)中包含了所有所需的配件,如500W(600V)的DC電源、2英寸的磁控濺射頭、石英真空腔體、真空泵和溫度控制器等。對于制作一些金屬薄膜,它是一款物美價廉的實驗手。

更新時間:2019-12-23

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科晶500W直流等離子磁控濺射鍍膜儀

型號:VTC-2DC2英寸

產(chǎn)品概述:

VTC-2DC是一款小型的直流(DC)等離子體磁控濺射鍍膜儀系統(tǒng),系統(tǒng)中包含了所有所需的配件,如500W(600V)的DC電源、2英寸的磁控濺射頭、石英真空腔體、真空泵和溫度控制器等。對于制作一些金屬薄膜,它是一款物美價廉的實驗手。

主要參數(shù):

  • 輸入電源:220V AC 50Hz    
  • 輸出電壓:600 VDC 
  • 輸出功率:大500W 
  • 整機功率:1000W(包括真空泵)

濺射腔體:

  • 采用石英腔體,尺寸:166mm OD x 150mm ID x250mm H(配置直靶頭)
  • 尺寸:166mm OD x 150mm ID x290mm H(配置帶角度傾斜靶頭) 
  • 密封法蘭:直徑為165mm,采用金屬制作,密封采用O形密封圈

濺射頭&樣品臺

  • 濺射頭安裝靶材直徑為2英寸,同時可選配1英寸濺射頭
  • 儀器中安裝有直徑為50mm的不銹鋼樣品臺,其與濺射頭之間距離可調(diào) 
  • 樣品臺可加熱,加熱溫度RT-500℃(RT為室溫) 
  • 安裝有一可手動操作的擋板 
  • 大可制膜的直徑為:2英寸(標配2英寸,如果需要更大尺寸請與我們銷售聯(lián)系)

真空系統(tǒng)

  • 安裝有KF25真空接口 
  • 數(shù)字真空壓力表(Pa) 
  • 此系統(tǒng)運行需要Ar氣,并且氣瓶上安裝有減壓閥(設(shè)備中不包含) 
  • 采用機械泵< 3.8E-2 Torr(參考值,詳情請點擊) 
  • 采用渦旋分子泵< 3.8E-5 Torr(參考值,詳情請點擊) 
  • 可在本公司選購各種真空泵

進氣:

  • 設(shè)備上配1/4英寸進氣口方便連接氣瓶 
  • 設(shè)備前面板上裝有一氣流調(diào)節(jié)旋鈕,方便調(diào)節(jié)氣流

靶材

  • 靶材尺寸要求:Φ50mm×(0.1-5)mm(厚度) 
  • 可在本公司選購各種靶材

薄膜測厚儀(可選):可在本公司選購薄膜測厚儀安裝在濺射儀上

產(chǎn)品外形尺寸:

540mm L x540 mm W x1100mm H

凈重:70 kg(不包括泵)

科晶500W直流等離子磁控濺射鍍膜儀

型號:VTC-2DC2英寸

質(zhì)量認證:CE認證

  • 使用提示:
    有時為了達到理想的薄膜厚度,可能需要多次濺射鍍膜 
  • 為了得到較好的薄膜質(zhì)量,必須通入高純氣體(建議> 5N) 
  • 在濺射鍍膜前,確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺的潔凈 
  • 要達到薄膜與基底良好結(jié)合,請在濺射前清潔基材表面 
  • 超聲波清洗(詳細參數(shù)點擊下面圖片):(1)丙酮超聲(2)異丙醇超聲-去除油脂(3)吹氮氣干燥(4)真空烘箱除去水分。 
  • 等離子清洗(詳細參數(shù)點擊下面圖片):可表面粗糙化,可激活表面化學(xué)鍵,可祛除額外的污染物。 
  • 制造一個薄的緩沖層(5納米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以應(yīng)用于改善金屬和合金的附著力。

警告:

  • 注意:產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件,禁止私自拆裝,帶電移動機體。 
  • 氣瓶上應(yīng)安裝減壓閥(設(shè)備標配不包括),保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下,以安全使用。 
  • 濺射頭連接到高電壓。為了安全,操作者必須在關(guān)閉設(shè)備前裝樣和更換靶

 

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